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歐姆龍推出新型非接觸式溫度傳感器適用于檢測

發布時間:2010-11-18 來源:中國傳動網

產品特性:
  • 采用MEMS技術
  • 芯片尺寸只有6mm見方
  • 靈敏度提到原有的7倍
應用范圍:
  • 店鋪及車站等場所

歐姆龍在最新召開的"第37屆國際福利機器展"推出了一款新型非接觸式溫度傳感器,由于采用了MEMS技術,傳感器元件縮小為150微米,將傳感器元件排成16*16的陣列時,芯片尺寸只有6mm見方,據稱為"業界最小水平",靈敏度提到原有的7倍。

歐姆龍表示,非接觸溫度傳感器具有攝像頭及熱釋傳感器所不具備的特點,即對照明環境適應性強,可感應到處于靜止狀態的人。但因其靈敏度較低,需要縮小感應區域。因此,要在較大的空間內進行檢測,需要安裝用來驅動非接觸溫度傳感器的機構以及多個傳感器,所以目前尚未普及。

普通的非接觸溫度傳感器元件,很多紅外線都會穿透紅外線吸收膜,因而靈敏度較低。此次通過采用在開發液晶用背照燈時培育的光波控制技術,開發出了可使紅外線匯聚到紅外線吸收膜的微鏡。開發這種微鏡時,研究人員在以往很難形成曲面的硅晶圓上制作出了自由曲面。 由于可在硅晶圓上形成微鏡,因此能在晶圓級別上使傳感器元件與鏡片進行真空接合,從而減少釋放到空氣中的熱量,以此提高靈敏度。可在保持響應速度不變的情況下將靈敏度提高至原來的7倍。這樣,便可使感應區域擴大至原來的7倍。此次開發的據該公司介紹,芯片的靈敏度為350V/W,響應速度為3ms左右。

感應區域擴大至原來的7倍后,可在店鋪及車站等場所,實時檢測人群的擁擠情況,由此可將非接觸溫度傳感器用于空調控制用途,還能用于檢測夜間有人闖入等防盜用途。歐姆龍公司表示,今后將推進MEMS非接觸溫度傳感器的產品化,通過將其連接至傳感器網絡等措施。
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